1、 靜壓差的測定要求:
(1)靜壓差的測定是潔凈區(qū)內(nèi)所有的門全關(guān)閉狀態(tài)下進行的。
(2)應從潔凈度高到潔凈度低的房間順序進行,一直到直通室外的房間。
(3)測管口設置在室內(nèi)不受氣流干擾的地方。
(4)所測數(shù)據(jù)應到1.0Pa。
2、靜壓差的測定步驟:
(1)是將潔凈區(qū)內(nèi)所有的門全處于關(guān)閉狀態(tài)下。
(2)用微壓差計測量潔凈室之間,潔凈室和走廊之間,走廊與外界之間的壓差。
(3)記錄在案。
3、靜壓差測定用的儀器:
靜壓差測定一般采用的儀器為YJB-150型補償式微壓計,傾斜式壓力計,精密指針式壓力計或靈敏度小于1.0Pa的其它壓力計。
4、合格標準:
(1)不同級別的潔凈室(區(qū))與非潔凈室潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應不小于5Pa。
(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差應不小于10Pa。
(3)對于潔凈度等級嚴于5級的單相流潔凈室在開門時,門內(nèi)0.6m處室內(nèi)工作面的含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度限值。