1、潔凈廠房用凈化空調系統通常不能像一般空調系統那樣按區域進行劃分,也不能夠簡單地按空氣潔凈度等級劃分,通常有如下的劃分原則。
(1)凈化空調系統應與一般空調系統、兩級過濾送風系統分開設置。
(2)運行班次、操作運行規律或使用時間不同的凈化空調系統應分開設置。
(3)產品生產過程中散發有毒、有害易燃易爆物質或氣體的工序或房間或會產生交叉污染等的房間,應分別設置凈化空調系統。
(4)溫度、濕度的控制要求或精度要求差別較大者分別設置。
(5)單向流潔凈室與非單向流潔凈室的凈化空調系統要分別設置。
(6)凈化空調系統的劃分宜照顧送風、回風和排風管道的布置,盡量合理布置、使用方便,力求減少各種風管的交叉重疊;必要時,對系統中的個別房間可單獨設溫度、濕度調節裝置。
2、集中式凈化空調系統
是將凈化空調處理設備集中設在空調機房,送風、回風均通過風管與潔凈室相通。集中式凈化空調系統又可分為單風機系統、雙風機系統、風機串聯和風機并統等。各類系統均各有特點和*的適用場所,應根據具體工程項目特點進行運用,比如風機串聯凈化空調系統,設有溫濕度處理風機、凈化循環總風機,對于循環風量較大系統,無需將循環風回至空調機組進行熱、濕處理,為降低造價,運行能耗,可將空調與凈化分開,熱、濕處理風量小采用小風機,凈化處理風量大采用大風機,并將二臺風機串聯使用。
3、分散式凈化空調系統
這種系統通常是在一般空調環境或較低級別的凈化生產環境內設置局部凈化設施或凈化設備或凈化空調設備的凈化空調系統總稱,,這種凈化空調系統類型很多。
4、幾種凈化空調系統送風方式介紹
隨著電子科學技術的發展,尤其是半導體集成電路制造技術的迅猛發展,對潔凈生產環境的空氣潔凈度要求越來越嚴格,現今超大規模集成電路生產要求控制潔凈室空氣中粒徑達50mm、微粒濃度達ISO1級并對化學分子污染物進行控制,因此在集成電路芯片工廠潔凈廠房的凈化空調系統發生了很大變化,目前主要是有隧道式送風方式、風機過濾單元/模塊式風機單元送風方式、集中送風方式和開放式潔凈室+微環境的送風方式等。