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潔凈室的四種類型

更新時(shí)間:2016-06-08  |  點(diǎn)擊率:1718

潔凈室的四種類型
(1)非單向流潔凈區(qū)
(2)單向流潔凈區(qū)
(3)混合流潔凈區(qū)
(4)微環(huán)境/隔離裝置
潔凈室按氣流型式過(guò)去分非單向流的及單向流的(垂直、水平單向流),90年代中后期ISO14644-4中又提出了混合流的型式,即把實(shí)際早已存在的在非單向流潔凈室設(shè)置局部的單向流的潔凈工作臺(tái)/站或?qū)恿髡值葘?duì)關(guān)鍵部位進(jìn)行“點(diǎn)”的“線”的保護(hù)以減少單向流潔凈區(qū)的面積。如手術(shù)室、制藥廠、實(shí)驗(yàn)室及小批量生產(chǎn)的潔凈室中尚采用這種“點(diǎn)”的保護(hù)。而半導(dǎo)體工廠常采用“潔凈隧道”形式形成“線”的保護(hù),即把較多工序的各臺(tái)設(shè)備的關(guān)鍵加工區(qū)置于非單向流潔凈室的層流罩內(nèi),各臺(tái)設(shè)備的關(guān)鍵加工區(qū)一般都面對(duì)布置。微環(huán)境/隔離裝置,是80年代出現(xiàn)的,90年代以后應(yīng)用逐漸廣泛,它與潔凈室的概念是不*相同的,它是無(wú)人在內(nèi)的,是工藝加工設(shè)備的關(guān)鍵加工部位*與周圍環(huán)境隔離并進(jìn)行加工,防止人等周圍環(huán)境對(duì)其加工的污染。它必須是密切與工藝及工藝設(shè)備相結(jié)合的,實(shí)質(zhì)上它已成為工藝設(shè)備的一個(gè)組成部分。