1、工程概況
該工程為地下一層、地上十二層，其中第2-5層是大廈的核心，主要用作光電產(chǎn)品的研制、生產(chǎn)、檢測等，潔凈度等級分為一百級、一萬級、十萬級，防靜電地板的電阻值104-106Ω。潔凈區(qū)樓層高4．8m，內(nèi)墻為50mm 厚巖棉彩鋼板隔斷，吊頂為50mm厚巖棉彩鋼板吊頂，門為鋁框彩鋼板門，鋁合金觀察窗，凈化區(qū)地面有防靜電PVC板地面、環(huán)氧自流坪、環(huán)氧樹脂玻璃鋼防腐地面等。
2、潔凈廠房的施工
2.1地坪施工
（1）水泥砂漿找平層
①平整度：本工程設(shè)計采用結(jié)構(gòu)面上鋪30mm厚1：2水泥砂漿找平。為保證下道工序的施工質(zhì)量，我們還提出了地面平整度每2m2 以內(nèi)誤差不大于+2mm 的要求。
②含水率：地板在施工前，要保證地面充分干燥，含水率要低于8％；對于經(jīng)常有潮氣滲出的地面，需做防水處理。
③地面強度：地面不允許有空鼓、起砂及裂縫現(xiàn)象，強度等級不少于M15。
④清潔度：地面無塵、油垢、酸堿等影響膠水粘性的雜質(zhì)。
（2）防靜電PVC貼面地板的施工
①施工用料
地板：采用防靜電半硬質(zhì)聚氯乙稀塊狀塑料地板，規(guī)格為600mmx600mm，厚2.5mm。
粘結(jié)劑：采用氯丁橡膠粘結(jié)劑。
導(dǎo)電膠：采用氯丁橡膠粘結(jié)劑與導(dǎo)電材料配置。
銅箔：厚度0.05～0.1 mm，寬度20~30mm。
②施工方法
清理地面并畫出中心十字線，十字線要求垂直等分。在地面上按規(guī)定的尺寸粘貼銅箔條形成網(wǎng)狀，粘貼時，先按測定位置均勻涂上一層粘結(jié)劑，寬度35mm，待不粘手后，粘上銅箔條，交叉處用導(dǎo)電膠粘結(jié)，以保證銅箔條間導(dǎo)通。粘貼好的銅箔網(wǎng)絡(luò)中至少有4點與接地線接通，相鄰銅箔條間的阻值小于105Ω。
③鋪設(shè)地板
首先在地面和地板背面均勻的涂上一層氯丁橡膠粘結(jié)劑，待粘結(jié)劑手感似粘非粘時開始鋪設(shè)地板；鋪設(shè)時從中心位置開始逐塊向四周展開，邊貼邊用橡皮錘頭敲打，并在銅箔條上涂上少許導(dǎo)電膠以保證每一塊地板的背面至少有一點有導(dǎo)電膠與銅箔相粘結(jié)。施工過程中，要經(jīng)常檢查測試地板表面與銅箔條間的電阻，保證導(dǎo)通。
（3）自流坪施工。主要用于清洗間，在基層處理到位的基礎(chǔ)上，將自流坪粉料倒人常溫清水，同時進行攪拌，形成流態(tài)、均勻的混合物；然后將該混合物倒人施工區(qū)域，并均勻涂至所要求的厚度即可。
2.2巖棉壁板及吊頂安裝
本工程吊頂及隔斷采用50mm厚巖棉彩鋼板。潔凈室的安裝，須在粗裝飾工程完成后的室內(nèi)進行，所有外窗均為中空玻璃固定窗，天棚以上墻梁板柱均批膩子刷白。室內(nèi)空間必須清潔、無積塵，并在施工安裝過程中對零部件和場地隨身清掃、擦凈。
（1）構(gòu)配件和材料的開箱啟封應(yīng)在清潔環(huán)境中進行，嚴格檢查其規(guī)格性能和完好度；不合格或已損壞的構(gòu)配件嚴禁安裝。
（2）壁板安裝前嚴格放線，墻角垂直交接，防止累計誤差造成壁板傾斜扭曲；壁板的垂直度偏差不大于0.2％。
（3）施工安裝前，首先進行吊掛、錨固件等與主體結(jié)構(gòu)和樓面、地面的連接件的固定。
（4）為了承受在凈壓差及設(shè)備啟動時的壓力變化，控制吊頂板的起伏變形和開裂，施工時在吊頂中部增焊了縱橫方向的 12加強筋，增強骨架的整體性；同時吊頂按房間寬度方向起拱，使吊頂在受荷載后的使用過程中保持平整。
（5）安裝過程中不要撕下壁板表面的塑料保護膜，以防止撞擊和踩踏板面。
（6）所有門窗線盒洞口安裝壁板前開好洞口，所有管線也事先在夾板巖棉中穿好。
（7）天棚與墻面、墻面與地坪交叉陰角處均有定型連接件連接，并嚴格按要求做法完成密封。
2.3鋁框彩鋼門、鋁合金固定窗、鋁合金風(fēng)口及型材的安裝
（1）鋁合金采用平開式安裝，門框四周鑲有密封條，門框簡潔易清洗。
（2）鋁合金固定窗采用圓弧過渡形式，起到不積塵的作用。型材緊貼彩鋼板，易清洗；玻璃表面無花斑、無氣孔、透明度好。
（3）鋁合金風(fēng)口按設(shè)計尺寸規(guī)格定做而成，表面平整無毛刺，調(diào)節(jié)靈活；安裝時與彩鋼板緊貼，易清洗。
（4）鋁合金型材采用槽鋁圓弧一體形式，整體性好，強度高。
（5）在不同潔凈等級區(qū)域的通道處，安裝不銹鋼質(zhì)密封防火門與空氣吹淋裝置。
（6）燈具、風(fēng)口、功能接頭、觀察窗等各種孔洞的周邊、不同材料的交接處，均嚴格按要求作法完成密封和防裂措施，保證整個潔凈室的氣密性。
2.4過濾器的安裝
（1）過濾器安裝前，必須對潔凈室進行全面清掃、擦凈，凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)部如有積塵，應(yīng)再次清掃、擦凈，達到清潔要求。
（2）潔凈室及空調(diào)凈化系統(tǒng)達到清潔要求后，凈化空調(diào)系統(tǒng)必須試運轉(zhuǎn)。連續(xù)運轉(zhuǎn)12h以上，再次清掃、擦凈潔凈室后立即安裝過濾器。
（3）過濾器的運輸和存放按照生產(chǎn)廠標(biāo)志的方向擱置。運輸過程中注意輕拿輕放，防止劇烈震動和碰撞。
（4）過濾器安裝前，必須在安裝現(xiàn)場拆開包裝進行外觀檢查，內(nèi)容包括濾紙、密封膠和框架有無損壞，邊長、對角線和厚度尺寸是否符合要求，框架有無銹斑，有無產(chǎn)品合格證，技術(shù)性能是否符合設(shè)計要求，然后進行檢漏。
（5）安裝過濾器的框架要平整。每個過濾器的安裝框架平整度允許偏差不大于lmm。
（6）過濾器和框架之間的密封采用密封墊和液槽密封或雙環(huán)密封，要求把填料表面、過濾器邊框表面和框架表面及液槽擦拭干凈。
（7）采用密封墊時，墊的厚度不宜超過8mm，壓縮率為25％-30％；采用液槽密封時，液槽內(nèi)的液面高度要符合設(shè)計要求，框架各接縫處不得有滲漏現(xiàn)象。
（8）安裝過濾器時，外框上箭頭應(yīng)和氣流方向一致。
（9）送風(fēng)口在結(jié)構(gòu)樓板與彩鋼板吊頂之間采用花籃螺絲連接，以便調(diào)節(jié)；使送風(fēng)口邊框與彩鋼板之間緊密，以減輕彩鋼板頂棚負荷。
3、系統(tǒng)綜合驗收
（1）驗收條件：驗收應(yīng)在對各分部工程做外觀檢查，單機運轉(zhuǎn)、系統(tǒng)聯(lián)合試運轉(zhuǎn)，空態(tài)或靜態(tài)條件下的潔凈室性能檢測和調(diào)整以及對有關(guān)的施工檢查記錄審查合格后進行。
（2）潔凈室各分部工程的外觀檢查應(yīng)符合下列要求：
①空氣過濾器與風(fēng)管連接及風(fēng)管與設(shè)備的連接處應(yīng)有可靠密封；
②凈化空調(diào)器、凈壓箱、回風(fēng)口無灰塵；
③潔凈室的內(nèi)墻面、吊頂表面和地面，應(yīng)光滑平整、色澤均勻、不起灰塵，地板無靜電現(xiàn)象；
④送回風(fēng)口及各類末端裝置、各類管道、照明及動力線配管以及工藝設(shè)備穿越潔凈室時，穿越處的密封處理應(yīng)可靠嚴密。
（3）驗收的檢測結(jié)果應(yīng)全部符合設(shè)計要求，其檢測項目應(yīng)包括下列內(nèi)容：
①通風(fēng)機的風(fēng)量及轉(zhuǎn)速的檢測；
②風(fēng)量的測定和平衡；
③室內(nèi)凈壓的檢測調(diào)整；
④自動調(diào)節(jié)系統(tǒng)聯(lián)動運轉(zhuǎn)；
⑤空氣過濾器的檢漏（檢測）；
⑥室內(nèi)潔凈度級別（檢測）。
4、測試
4.1技術(shù)指標(biāo)
（1）潔凈度
一百級：≥0.5μm的塵埃顆粒數(shù)≤35顆／L；≥5 μm 的塵埃顆粒數(shù)≤0.0顆／L。
一萬級：≥0.5μm的塵埃顆粒數(shù)≤350顆／L；≥5 μm 的塵埃顆粒數(shù)≤2.5顆／L。
十萬級：≥0.5μm的塵埃顆粒數(shù)≤3500顆／L：≥5 μm的塵埃顆粒數(shù)≤25顆／L。
采用Y09-6塵埃粒子計數(shù)器檢測。
（2）室內(nèi)噪聲
≤65dB(A)單向流，采用ND-12聲級器檢測；
≤60dB(A)非單向流，采用ND-12聲級器檢測。
（3）室內(nèi)壓差
≥5～10Pa，采用YYT一200B斜管壓差計檢測。
（4）室內(nèi)溫度
按設(shè)計要求為22℃±2℃。
（5）室內(nèi)濕度
按設(shè)計要求為50％±5％。
4.2測試方法
（1）過濾器檢漏一粒子計數(shù)器法(采用Y09-6塵埃粒子計數(shù)器)
①被檢測過濾器必須已測過風(fēng)量，在設(shè)計風(fēng)速的80％-120％之間運行；
②在被檢測過濾器上風(fēng)測定大氣塵的微粒數(shù)，以大于或等于0.5 m微粒為準(zhǔn)其濃度必須大于或等于3.5x10 粒／L；
③檢漏時采樣口放在距離被檢測過濾器表面2-3cm處，以5-20mm／s的速度移動，對被檢測過濾器整個表面、封頭膠和安裝框架進行掃描。
（2）靜壓差測定(采用YYT-200B斜管壓差計)
①靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時進行，并應(yīng)從平面上zui里面的房間依次向外測定；
②對于潔凈度高于100級的單向流(層流)潔凈室，還應(yīng)測定在門開啟狀態(tài)下，離門口0．6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。
（3）室內(nèi)潔凈度的測定(采用Y09-6塵埃粒子計數(shù)器)
①測定潔凈度的zui低限采樣點數(shù)的按照規(guī)定；
②測點的分布。多于5點時可分層布置，但每層不少于5點；5點或5點以下時，可布置在離地0．8m高平面的對角線上或該平面上的兩個過濾器之間的地點。
（4）室內(nèi)噪聲的測定(采用ND-12聲級計)
①測噪聲儀器為帶倍頻程分析儀的聲級計。一般只測4聲級的數(shù)值；
②測點位置：面積<15m。室中心1點，測點高度距地面1.1m。